扩散硅压力变送器结构组成及如何使用

一、扩散硅压力变送器结构组成：
 
1、由于传感器的输出是非标准的信号，在实际应用中为了使传感器具有通用性以及便于信号的传送和记录，就将传感器与带有标准信号输入电路配套使用，使之输出符合标准的信号。此时输出标准信号的传感器就称为变送器 。
 
2、简而言之，变送器是从传感器逐步发展而来的。本文研究的扩散硅压力变送器主要由 MEMS 传感器、测量膜盒和接口与处理电路（智能电路板）三大部分组成。
 
3、压力传感器与二极管温度传感器一起封装在测量膜盒顶部，再由两块密封法兰夹住膜盒本体构成了变送器的测量部，负责把工作现场待测的压力信号转换为电压信号。另有电子线路板和液晶显示表头及接线端子构成显示部，负责把传感器输出的电压信号通过放大、二线制信号处理变换4~20mA后，输出标准电流信号 。

二、扩散硅压力变送器技术特点：

1、灵敏度高

扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍，它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接囗电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辩率极高。

2、可靠性高

扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片zui大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。

3、精度高

扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好莱坞，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高。

4、频响高

由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高，一般在50KC。制造过程采用了集成工艺，膜片的有效面积可以很小，配以刚性结构前置安装特殊设计，使传感器频率响应很高，使用带宽可达零频至100千赫兹。

三、使用扩散硅压力变送器时的注意事项：
 
1、温度补偿，扩散硅式压力传感器是半导体，半导体具有很强的温度特性，没有温度补偿，测量误差可能会比较大。
 
2、扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚，千万不能触碰。
 
3、供电电压要稳定，传感器内部实际就是一个电桥，供电电压波动会引起桥路输出变化，影响测量精度。
 
4、要在额定电压内使用，过压会导致传感器损坏。
 
5、输出端不要短路。