联仪压力变送器已突破历史性三大问题

    用半导体硅集成电路工艺制备压力变送器已有30多年历史了，随着市场需求其每年以20%的速度增长，竞争十分剧烈，但仍存在以下间题迫切需要解决，并应引起注意:
    (1)电阻非线性间题突出。力敏电阻依靠p-n结与衬底隔离，在p区侧的耗尽层宽度与外加电压有关，故电阻条的有效导电厚度随外加电压而变化，表现为非线性，并直接导致零点的电漂移。
    (2)零点电漂移。压力变送器的特性指标除众所周知的几个之外，我们在上百次对国内外不同品种的压力变送器进行测定时，均发现了零点电漂移现象，在国际上我们是领先观察到并给予定义的。零点电漂移影响压力变送器的测量精度，使灵敏度大大降低。
    (3)热零点漂移与漏电问题。热零点漂移是影响压力变送器性能的重要指标，受到广泛重视。国际上认为热零点漂移仅取决于力敏电阻的不等性及其温度非线性，但我们认为热零点漂移还与力敏电阻的反向漏电有关，对该理论作出了重要补充，还指出多晶硅可以吸除衬底中的重金属杂质，从而减小力敏电阻的反向漏电、改善热零点漂移，提高变送器的性能。
    除动态响应特性、噪声等指标外，在国际上我们首先发现并提出零点电漂移也应作为一个特性指标。
    衡量智能压力变送器性能大致有下列七个指标:线性度、灵敏度、重复性、迟滞、分辨率、漂移、稳定性。漂移可分为温漂、时漂、力学蟠变漂移以及电源的不稳定性。温漂又分为热零点和热灵敏度漂移。虽然人们曾提到过电源不稳定性造成的漂移，但没有明确提出过零点电漂移这个概念，也不把它当作一个可测定的技术指标。

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